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高純液氬的充裝作業步驟
高純液氬充裝作業的危險性：
1）充氣閥體內有可燃物，管道接口設施沾染油脂有機物，在高壓氧和純氧的強氧化作用下可能引起化學性爆炸。
2）充裝速度過快，快速啟閉充裝總閥、放散閥可瓶閥時，可能因撞擊、摩擦產生火星而引發燃爆事故。
3）機動車進入現場排氣管未裝陰火器或車輛進入場地時未熄火，排氣中的火星可成為點火源導致火災爆炸。
高純氬在半導體工業中用作生產高純硅和鍺晶體的保護氣體；可用作系統清洗、屏蔽和增壓用惰性氣體；在化學氣相沉積、濺射和退火等工藝中有所應用。高純氬可用作色譜載氣，也可用作大規模集成電路中混合氣體的稀釋氣。氬被廣泛用于充填弧光燈、熒光燈和電子管；焊接保護氣；在鈦、鈷及其他活性金屬的生產中用作屏蔽氣；在黑色冶金中，氬氣用于吹煉特種鋼，以提高鋼的質量，特別是不銹鋼制造中消耗大量氬氣。
無毒，是一種窒息性氣體，高濃度時，使氧分壓降低而發生窒息，氬濃度達50%以上，引起嚴重癥狀；75%以上時，可在數分鐘內死亡。當空氣中氬濃度增高時，先出現呼吸加速，注意力不集中，以致死亡。避免高濃度吸入。進入罐、限制性空間或其他高濃度區作業，須有人監護。液態氬可致皮膚凍傷；眼部接觸可引起炎癥。貯存于陰涼、通風的庫房。遠離火種、熱源。庫溫不宜超過30℃。應與易（可）燃物分開存放，切忌混貯。
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